Metode Untuk Penumbuhan Material Carbon Nanotubes (CNT)

Abstract

Invensi ini berhubungan dengan metode untuk penumbuhan material carbon nanotubes (CNT) di atas substrat silikon (Si) dengan proses pyrolysis untuk mendapatkan struktur tabung berukuran nanometer secara berdiri dan berlapis. Dengan metode tersebut penumbuhan material carbon nanotubes (CNT) dilakukan selama 15-45 menit akan menghasilkan ketebalan lapisan carbon nanotubes (CNT) sebesar 10-30 )lm dengan ukuran diameter tabung CNT antara 20-50 nm. Penambahan lapisan kedua carbon nanotubes (CNT) dapat dilakukan dengan cara yang sarna dengan jeda waktu 30 menit, demikian juga seterusnya untuk lapisan ketiga atau keempat.