Pembuatan sumber elektron termionik untuk mesin berkas elektron

Abstract

Telah dirancarig sebuah sumber elektron termionik untuk resin berkas elektron. Peiiihuatari dengan susunan konstruksi yang paling sederhana dengari proses termionik. Sumber elektron terdiri dari filamen dari tungsten berfurigsi sebagai sumber emisi elektron, elektroda pendorong, elektroda pemfokus, dan celah, yang ketiganya terbuat dari baja tahan karat dan berfungsi sebagai pembentuk berkas elektron. Diperoleh hasil bahwa arias berkas elektrcn sebesar (8,0 ± 0,1) mA dapat dicapai pada scat koridisi operasi sebagai berikut : anus filamen (5,0 ± 0,1) A, poterisial elektroda pendororig (120 t 10) V, elektroda pemfokus (3,00 ±J 0,05) kV, celah (4,00 ± 0,05) kV, dan efisiensi sister estraksi (73,0 ± 3,4) %. ABSTRACT Electron termionic source for electron beem machine has been desilned. Fabrication by very simple construction where principle of operation these termionio processing. These electron source has a filamen was made of tungsten used to electron emision source, reppeler electrode, focussing electrode, and ekstractor electrode, both of them was made of stainless steel and used t_ce electron beers shaping. The electron current of (8,0 - 0,1) mA measuvd at the following condition : filamen urrent (5,0 - 0,1) A, reppeler electrode potTntial (120 10) V, focussing electrode piteritial (3,00 - 0,05) kV, ekstractor electrode (4,00 - 0,05) kV, and system ekstraction efficiency (73,0 ±3,4) %.