Pembuatan sumber ion tipe katoda panas untuk cuplikan padat

Abstract

number ion sebagai komponen utama dari mesin implantasi ion adalah suatu alat penghasil ion. Suatu somber ion dengan katoda papas untuk cuplikan padat telah dirancang dan dibuat dengan konstruksi yang paling sederhana yang bekerja atas dasar ionisasi uap dengan elektron. Sumber ion ini terdiri dari tabung hampa, katoda dari tungsten, tabung alumina, anoda, elektroda pendorong dan elaktroda pemfokus, celah., mangkuk Faraday dan untuk memperbesar berkas anus ion keluaran dibuat pula magnet. Diperoleh basil bahwa arcs berkas ion untuk cuplikan aluminium sebesar (940 ± 10) nanoamper. Untuk cuplikan tembaga arus berkas ion sebesar (100 ± 10) nanoamper dan cuplikan besi diperoleh ar-us berkas ion sebesar (90 ± 1) nanoamper - ABSTRACT The main component of an ion implantor used to produce ion current is ion source. A hot cathode ion source for solid sampel has been designed and fabricated by very simple construction where principle of operation these ion source by vapour ionization with electron- This type ion source has a vacuum tube, cathode was made of tungsten, alumina tube, anode, reppeler and foccusing electrode, ekstractor electrode! Faraday cup and the magnetic field was made for increasing output ion current. The aluminium sample could produce ( 940 ± 10 ) nanoamper ion current, cuprum sample ( 100 ± 10 ) nanoamper ion current and ferrum sample ( 90 ± 1 ) nanoamper ion current.