Pembuatan silikon amorf terhidrogenisasi (a-Si:H) dengan metode evaporasi

Yunanto , Sayid (1995) Pembuatan silikon amorf terhidrogenisasi (a-Si:H) dengan metode evaporasi. Undergraduate thesis, FMIPA UNDIP.

[img]PDF
Restricted to Repository staff only

2044Kb
[img]
Preview
PDF
16Kb
[img]
Preview
PDF
335Kb
[img]
Preview
PDF
435Kb
[img]
Preview
PDF
474Kb
[img]
Preview
PDF
885Kb
[img]
Preview
PDF
486Kb
[img]PDF
Restricted to Repository staff only

495Kb
[img]
Preview
PDF
345Kb
[img]
Preview
PDF
326Kb
[img]
Preview
PDF
621Kb

Abstract

Amourphous silicon hidrogenated has been produced by evaporation methode using simultaneous hydrogenation system. Applying vaccum 2 x 10 -5, source RF = 13.56, the flow gas H2 is 0.8 lt/menit, elektroda ion attractive voltage = 700 Volt, distance substrate = 2.48 cm and evaporation time 1.45 menit can provide atom more hidrogen atom in a-Si and bonding atom Si-H more strength. Those condition showed on wave length 359 nm from curve charakteristik using UV-VIS spectrophotometer. ABSTRAK Telah dibuat silikon amorf terhidrogenisasi (a-Si:H) dengan metode evaporasi dengan hidrogenisasinya dilakukan dalam sistim yang simultan. Tekanan 2 x 10-5, Rf = 13,56 Mhz, aliran ga H2 0.8 ltimenit, tegangan elektroda penarik ion 700 volt, jarak substrate 2.48 cm dan lama evaporasi 1.45 menit , maka dapat diperoleh kandungan atom hidrogen dalam a-Si:H lebih banyak dan ikatan antar atom Si-H lebih kuat yang keberadaannya ditunjukkan pada panjang gelombang 359 nm dengan tingkat kecuraman lembah yang dihasilkan dari uji karakteristik sampel dengan menggunakan UV-VIS Spektrophotometer.

Item Type:Thesis (Undergraduate)
Subjects:Q Science > QC Physics
Divisions:Faculty of Science and Mathematics > Department of Physics
ID Code:30236
Deposited By:Mr UPT Perpus 1
Deposited On:24 Oct 2011 14:04
Last Modified:24 Oct 2011 14:04

Repository Staff Only: item control page